Skip to content
Aperlena
Free alerts

TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) verified 2 days ago Contract notice

Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - VRTP-Kammern

Closed Germany Dresden Electrical machinery

Buyer NaMlab gGmbH

€480,000 estimated value

Key facts

Closed
13:00 (UTC+2)
Procedure
Open procedure
  1. Published
  2. Deadline open for 37 days
  3. Awarded pending
View the official notice Watch this tender

Bidding is closed. An award or a correction on this notice: an email when the register sees it. Log in

Description

VRTP-Kammern Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

Report an error in this notice

Last verified against TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 2 days ago

View the official notice

The buyer

Full buyer profile

NaMlab gGmbH

Germany

Recent awards

Market context

open now in Electrical machinery
3,449
median open notice
€596,416

Who wins in this market

Many suppliers

Germany · Electrical machinery

different companies won awards here
473
of the awards went to the three most frequent winners
5%
buyers awarded contracts here
300

Based on 584 awards with a named winner over the last 3 years. Counted by award, not by value, because lot and framework amounts are not comparable. Concentrated means the three most frequent winners took 65% or more of the awards; many suppliers, under 35% with at least ten different winners.

Similar tenders

Open now

Awarded before

Never miss a tender like this

692 new notices in Electrical machinery in Germany in the last 7 days. Get an email when new ones appear. Free.

Set up my alert
Open notice

Keyboard shortcuts

Read a list without reaching for the mouse. The shortcuts stay quiet while you type in a field.

j
Next result
k
Previous result
Enter
Open the result
n
Next page
p
Previous page
c
Compare this result
s
Shortlist this result
o
Open the result in a new tab
x
Set this result aside
/
Search from any page
Ctrl K
Search from any page
?
Show these shortcuts
Esc
Close

Start from a question

Browse by sector

Index

Close
Log in

Language