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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) geprüft vor 2 Tagen Auftragsbekanntmachung

Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - VRTP-Kammern

Geschlossen Deutschland Dresden Elektrische Maschinen

Auftraggeber NaMlab gGmbH

480.000 € geschätzter Wert

Eckdaten

Geschlossen
13:00 (UTC+2)
Verfahren
Offenes Verfahren
  1. Veröffentlicht
  2. Frist 37 Tage offen
  3. Vergeben ausstehend
Zur amtlichen Bekanntmachung Ausschreibung beobachten

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Beschreibung

VRTP-Kammern Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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Der Auftraggeber

Vollständiges Auftraggeberprofil

NaMlab gGmbH

Deutschland

Bekanntmachungen im Register
5
Zuschläge
3
insgesamt vergeben
2,3 Mio. €

Ein Punkt je Zuschlag, am Tag der Unterzeichnung, in der Größe seines Werts. Ein Ring ist ein Zuschlag ohne veröffentlichten Wert.

Jüngste Vergaben

Marktkontext

jetzt offen im Bereich Elektrische Maschinen
3.495
Median der offenen Bekanntmachungen
579.453 €

Wer in diesem Markt gewinnt

Viele Anbieter

Deutschland · Elektrische Maschinen

verschiedene Unternehmen erhielten hier Zuschläge
473
der Zuschläge gingen an die drei häufigsten Gewinner
5%
Auftraggeber vergaben hier Aufträge
300

Auf Grundlage von 584 Zuschlägen mit benanntem Gewinner aus den letzten 3 Jahren. Gezählt nach Zuschlägen, nicht nach Wert, weil Los- und Rahmenvertragsbeträge nicht vergleichbar sind. Konzentriert heißt: Die drei häufigsten Gewinner erhielten 65% der Zuschläge oder mehr; viele Anbieter: unter 35% bei mindestens zehn verschiedenen Gewinnern.

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