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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) verificato 2 giorni fa Bando di gara

Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - VRTP-Kammern

Chiusa Germania Dresden Macchine elettriche

Stazione appaltante NaMlab gGmbH

480.000 € valore stimato

Dati principali

Chiusa
13:00 (UTC+2)
Procedura
Procedura aperta
  1. Pubblicata
  2. Scadenza aperta 37 giorni
  3. Aggiudicata in attesa
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Descrizione

VRTP-Kammern Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 2 giorni fa

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Il committente

Profilo completo del committente

NaMlab gGmbH

Germania

Aggiudicazioni recenti

Contesto di mercato

aperti ora in Macchine elettriche
3.495
avviso aperto mediano
579.453 €

Chi vince in questo mercato

Molti fornitori

Germania · Macchine elettriche

aziende diverse hanno vinto appalti qui
473
degli appalti è andato ai tre aggiudicatari più frequenti
5%
stazioni appaltanti hanno aggiudicato appalti qui
300

Sulla base di 584 aggiudicazioni con aggiudicatario indicato negli ultimi 3 anni. Contate per aggiudicazione e non per importo, perché gli importi di lotti e accordi quadro non sono confrontabili. Concentrato: i tre aggiudicatari più frequenti hanno ottenuto il 65% degli appalti o più; molti fornitori: meno del 35% con almeno dieci aggiudicatari diversi.

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