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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) verificado hace 2 días Anuncio de licitación

Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - VRTP-Kammern

Cerrada Alemania Dresden Maquinaria eléctrica

Órgano de contratación NaMlab gGmbH

480.000 € valor estimado

Datos clave

Cerrada
13:00 (UTC+2)
Procedimiento
Procedimiento abierto
  1. Publicada
  2. Fecha límite abierta 37 días
  3. Adjudicada pendiente
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Descripción

VRTP-Kammern Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 2 días

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El comprador

Perfil completo del comprador

NaMlab gGmbH

Alemania

anuncios en el registro
5
adjudicaciones
3
adjudicados en total
2,3 M €

Un punto por adjudicación, en el día en que se firmó, con el tamaño de su importe. Un anillo es una adjudicación sin importe publicado.

Adjudicaciones recientes

Contexto de mercado

abiertos ahora en Maquinaria eléctrica
3.495
anuncio abierto mediano
579.453 €

Quién gana en este mercado

Muchos proveedores

Alemania · Maquinaria eléctrica

empresas distintas ganaron adjudicaciones aquí
473
de las adjudicaciones fueron a los tres adjudicatarios más frecuentes
5%
compradores adjudicaron contratos aquí
300

Según 584 adjudicaciones con adjudicatario identificado en los últimos 3 años. Contadas por adjudicación y no por importe, porque los importes de lotes y acuerdos marco no son comparables. Concentrado: los tres adjudicatarios más frecuentes obtuvieron el 65% de las adjudicaciones o más; muchos proveedores: menos del 35% con al menos diez adjudicatarios distintos.

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