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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) vérifié il y a 2 jours Avis de marché

Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - VRTP-Kammern

Clôturé Allemagne Dresden Machines électriques

Acheteur public NaMlab gGmbH

480 000 € valeur estimée

Informations clés

Clôturé
13:00 (UTC+2)
Procédure
Procédure ouverte
  1. Publié
  2. Date limite ouvert 37 jours
  3. Attribué en attente
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Description

VRTP-Kammern Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 2 jours

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L'acheteur

Profil complet de l'acheteur

NaMlab gGmbH

Allemagne

avis dans le registre
5
attributions
3
attribués au total
2,3 M €

Un point par attribution, au jour de sa signature, à la taille de son montant. Un anneau est une attribution sans montant publié.

Attributions récentes

Contexte de marché

ouverts en ce moment, Machines électriques
3 449
avis ouvert médian
596 416 €

Qui remporte les marchés ici

Nombreux fournisseurs

Allemagne · Machines électriques

entreprises différentes ont remporté des attributions ici
473
des attributions sont allées aux trois titulaires les plus fréquents
5%
acheteurs ont attribué des marchés ici
300

D'après 584 attributions avec un titulaire nommé sur les 3 dernières années. Compté par attribution et non par montant, car les montants des lots et des accords-cadres ne sont pas comparables. Concentré : les trois titulaires les plus fréquents ont obtenu 65% des attributions ou plus ; nombreux fournisseurs : moins de 35% avec au moins dix titulaires différents.

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