Skip to content
Aperlena
Language:

România - Echipamente de gravură uscată - Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching)

Awarded Contract award No deadline published
Watch this tender

Bidding is closed. An award or a correction on this notice: an email when the register sees it. Log in

  1. Published
  2. Awarded pending

Description

Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) cu plasmă cuplată inductiv, numit în continuare Sistem de gravură ICP-RIE, va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂). Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) - 1 buc. Sistemul de gravură ICP-RIE va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂). Sistemul trebuie să ofere următoarele capabilități esențiale: a) Sistemul trebuie să fie capabil să proceseze probe cu dimensiuni de până la minim 200 mm; b) Sistemul trebuie să permită procesarea unei game largi de materiale țintă (polimeri, oxizi metalici, nitruri metalice, metale și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție), utilizate în mod frecvent în aplicații de micro- și nanofabricare. Pentru a asigura o astfel de versatilitate funcțională, sistemul trebuie să fie proiectat astfel încât să fie pe deplin compatibil cu gazele reactive fluorurate și gazele pe bază de clor. Configurația camerei de proces și a circuitelor de gaze trebuie să permită alternarea între cele două tipuri de chimii în cadrul aceleiași incinte de reacție, fără a compromite puritatea procesului, fără a genera contaminare încrucișată și fără a afecta reproducibilitatea sau eficiența procesului de gravură; c) Gazele suportate trebuie să includă: Ar, O₂, SF₆, CF₄, CHF₃, Cl₂ și BCl₃ (încălzit). d) Sistemul de vid și sistemul de alimentare cu gaze trebuie sa asigure comutarea sigură și facilă între cele două tipuri de chimii în cadrul aceleiași incinte de reacție, fără a necesita modificări hardware sau utilizarea unor echipamente dedicate pentru fiecare clasă de reactivi.

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

Last verified against TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 month ago

View the official notice

More from this buyer

Full buyer profile

5 open tenders right now

Recent awards

Change history

Every time an official source republished this notice with different content. We watch every source we index, including regional copies of the same notice.

  1. Read before bidding
    • Estimated value: Set to €464,815
    • Scope and criteria: The description was expanded. Re-read it before you bid.
    • Estimated value: Set to €2,440,746

Follow this tender and we email you the moment it changes. Create account

Market context

Avg. open tender · Printed matter
€8,212,927
609 open across Europe right now 94% below sector average
Buyer track record on Aperlena
11 notices tracked · 4 awarded
€448,393 in awarded contracts

Never miss a tender like this

2 new notices in Printed matter in Romania in the last 7 days. Get an email when new ones appear. Free.

Set up my alert
Source

Keyboard shortcuts

Read a list without reaching for the mouse. The shortcuts stay quiet while you type in a field.

j
Next result
k
Previous result
Enter
Open the result
n
Next page
p
Previous page
c
Compare this result
s
Shortlist this result
/
Jump to the search box
?
Show these shortcuts
Esc
Close