Descripción

Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) cu plasmă cuplată inductiv, numit în continuare Sistem de gravură ICP-RIE, va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂). Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching) - 1 buc. Sistemul de gravură ICP-RIE va fi utilizat pentru dezvoltarea și fabricarea de micro- și nanostructuri cu aplicabilitate în domenii precum micro- și nanoelectronică, optoelectronică, fotonică, precum și în aplicații de tip senzori. Sistemul trebuie să permită gravura anizotropă, selectivă și reproductibilă a unei game largi de materiale: polimeri (ex: PMMA, SU-8), oxizi metalici (ex: SiO2, Al2O3, HfO2, TiO2, ZnO, CuO), nitruri metalice (ex: AlN, TiN), metale (Cr, Ti) și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție (ex: MoS₂). Sistemul trebuie să ofere următoarele capabilități esențiale: a) Sistemul trebuie să fie capabil să proceseze probe cu dimensiuni de până la minim 200 mm; b) Sistemul trebuie să permită procesarea unei game largi de materiale țintă (polimeri, oxizi metalici, nitruri metalice, metale și dicalcogenuri ale metalelor de tranziție), utilizate în mod frecvent în aplicații de micro- și nanofabricare. Pentru a asigura o astfel de versatilitate funcțională, sistemul trebuie să fie proiectat astfel încât să fie pe deplin compatibil cu gazele reactive fluorurate și gazele pe bază de clor. Configurația camerei de proces și a circuitelor de gaze trebuie să permită alternarea între cele două tipuri de chimii în cadrul aceleiași incinte de reacție, fără a compromite puritatea procesului, fără a genera contaminare încrucișată și fără a afecta reproducibilitatea sau eficiența procesului de gravură; c) Gazele suportate trebuie să includă: Ar, O₂, SF₆, CF₄, CHF₃, Cl₂ și BCl₃ (încălzit). d) Sistemul de vid și sistemul de alimentare cu gaze trebuie sa asigure comutarea sigură și facilă între cele două tipuri de chimii în cadrul aceleiași incinte de reacție, fără a necesita modificări hardware sau utilizarea unor echipamente dedicate pentru fiecare clasă de reactivi.

Ver la descripción completa

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

Ver el anuncio oficial

Más de este comprador

Perfil completo del comprador

5 licitaciones abiertas ahora mismo

Instrumentos de medición de magnitudes eléctricas - Sistema de caracterización eléctrica para diodos electroluminescentes orgánicos (OLED) 24 sep. 2026 Quedan 3 días
Rumania - Espectrómetros de masas - Espectrómetro de masas cuadrupolar 1 oct. 2026 Quedan 10 días
Rumania - Válvulas de deslizamiento - Componentes de vacío: válvulas de compuerta para ultravacío; diversos elementos de vacío sobre bridas Conflat; medidores de presión; válvulas para ultravacío; elementos de acondicionamiento de instalaciones UHV / bakeout 6 oct. 2026 Quedan 15 días

Adjudicaciones recientes

Upgrade-ul electronicii de control a unui microscop Omicron STM/AFM
adjudicado a PHANOS TECHNOLOGY S.R.L. 77.607 €
România - Echipamente industriale - Cameră pentru depunerea de straturi subțiri semiconductoare din nitruri III-V, cu uniformitate foarte bună pe suprafețe de mari dimensiuni, utilizând tehnici de pulverizare în câmp magnetron (Cameră de depunere)
adjudicado a PHANOS TECHNOLOGY S.R.L. 370.787 €

Historial de cambios

Cada vez que una fuente oficial ha vuelto a publicar este anuncio con contenido distinto. Vigilamos todas las fuentes que indexamos, incluidas las copias regionales del mismo anuncio.

5 ago. 2026 Léelo antes de presentarte
- Valor estimado: Fijado en 464.815 €
- Objeto y criterios: Se ha ampliado la descripción. Reléela antes de presentarte.
- Valor estimado: Fijado en 2.440.746 €

Sigue esta licitación y te escribimos en cuanto cambie. Crear cuenta

Contexto de mercado

Licitación abierta media · Material impreso: 8.033.274 €; 632 abiertas ahora en Europa 94% por debajo de la media del sector
Historial del comprador en Aperlena: 11 anuncios registrados · 4 adjudicados; 448.393 € en contratos adjudicados

No te pierdas ninguna licitación como esta

3 anuncios nuevos de Material impreso en Rumanía en los últimos 7 días. Recibe un email cuando aparezcan anuncios nuevos. Gratis.

Crear mi alerta

România - Echipamente de gravură uscată - Sistem de gravură ionică reactivă (Reactive Ion Etching)