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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) geprüft vor 1 Woche Auftragsbekanntmachung

Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Geschlossen Deutschland Dresden Industriemaschinen

Auftraggeber Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Eckdaten

Veröffentlicht
Verfahren
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  1. Veröffentlicht
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Gegenstand der Beschaffung ist ein PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1), also Ausrüstung zum Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN sowie zum Rückätzen in unabhängigen Kammern mit planaren Targets über 200-mm-Wafern. Das System wird für zwei Prozesslinienanwendungen benötigt: die Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets sowie die Metall- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungssysteme. In beiden Anwendungen ist eine konforme Barrierenabscheidung für optimale Kontaktqualität erforderlich. Optionale Leistungspositionen umfassen ein Handlingsystem für zwei gleichzeitige Sequenzen, Kantenbearbeitung, Verarbeitung von Quarz-Wafern, HF-Generatoren mit automatischem Anpassungsnetzwerk, eine Entgasungsstation, eine Wafer-Pufferstation, Chucktemperatur unter 20 Grad C beim Ätzen, eine Gewährleistungsverlängerung um 12 Monate sowie einen Satz Verschleißteile.

Beschreibung

1 Stück PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) Ausrüstung für das Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN und das Rückätzen in unabhängigen Kammern mit planaren Targets über 200-mm-Wafern. Dieses System ist für zwei Prozesslinienanwendungen erforderlich. Eine Anwendung ist die Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets. Das zweite Anwendungsszenario ist die Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungsysteme. In beiden Anwendungen ist die konforme Abscheidung der Barriere erforderlich, um eine optimale Kontaktqualität zu erzielen. Optionale Leistungspositionen: 2.4 Handlingsystem Das Werkzeug ist in der Lage, zwei verschiedene Sequenzen gleichzeitig zu bearbeiten. ja/nein 2.9 Handlingsystem Möglichkeit zur Kantenbearbeitung ja/nein 3.6 Kassetten/Wafer-Spezifikationen Verarbeitung von Quarz-Wafern gemäß den oben genannten Spezifikationen ja/nein 4.5 Prozesssystem HF-Generatoren mit automatischem Anpassungsnetzwerk zum Anlegen einer Substratvorspannung in der Kammer für alle anderen Sputterkammern "100 - 600 W; ja/nein" 4.16 Prozesssystem Das Gerät ist mit einer Entgasungsstation ausgestattet. "Chuck temperature 200°C; yes/no" 4.17 Process System Das Gerät ist mit einer Wafer-Pufferstation ausgestattet. "Wafermenge im Puffer ≥6; ja/nein" 4.19 Prozesssystem Chucktemperatur in Prozesskammer für Prozess "Ätzen" "< 20°C; ja/nein" 19.6 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate. ja/nein 21.9 Betriebszeit/Reparatur/Zuverlässigkeit Satz von Verschleißteilen (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Grundgarantiezeit ja/nein

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Deutschland

Bekanntmachungen im Register
717
Zuschläge
329
insgesamt vergeben
1,3 Mio. €

Wer seine Aufträge gewinnt

Viele Anbieter
verschiedene Unternehmen erhielten Zuschläge
229
der Zuschläge gingen an die drei häufigsten Gewinner
6%
seiner Ausschreibungen nennen einen geschätzten Wert
0%

Auf Grundlage von 290 Zuschlägen mit benanntem Gewinner aus den letzten 3 Jahren. Gezählt nach Zuschlägen, nicht nach Wert, weil Los- und Rahmenvertragsbeträge nicht vergleichbar sind. Konzentriert heißt: Die drei häufigsten Gewinner erhielten 65% der Zuschläge oder mehr; viele Anbieter: unter 35% bei mindestens zehn verschiedenen Gewinnern.

Wettbewerb

Angebote je Los im Durchschnitt (offene und nicht offene Verfahren)
5,1
dieser Lose erhielten ein einziges Angebot
22%
der Zuschläge gingen an Unternehmen mit Sitz in einem anderen Land
16%

So, wie die amtlichen Bekanntmachungen sie angeben, über die letzten 3 Jahre. Angebote je Los zählen nur offene und nicht offene Verfahren: Im Verhandlungsverfahren oder bei einer Direktvergabe ist ein einziges Angebot das Verfahren selbst. Das Land ist das, das die Bekanntmachung für den Gewinner nennt.

Vergibt am häufigsten an

  1. EV Group E. Thallner GmbH 8 Zuschläge
  2. Keysight Technologies 5 Zuschläge
  3. SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH 4 Zuschläge

45 offene Ausschreibungen derzeit

Marktkontext

jetzt offen im Bereich Industriemaschinen
1.892
Median der offenen Bekanntmachungen
151.613 €

Wer in diesem Markt gewinnt

Viele Anbieter

Deutschland · Industriemaschinen

verschiedene Unternehmen erhielten hier Zuschläge
571
der Zuschläge gingen an die drei häufigsten Gewinner
4%
Auftraggeber vergaben hier Aufträge
303

Auf Grundlage von 707 Zuschlägen mit benanntem Gewinner aus den letzten 3 Jahren. Gezählt nach Zuschlägen, nicht nach Wert, weil Los- und Rahmenvertragsbeträge nicht vergleichbar sind. Konzentriert heißt: Die drei häufigsten Gewinner erhielten 65% der Zuschläge oder mehr; viele Anbieter: unter 35% bei mindestens zehn verschiedenen Gewinnern.

Wettbewerb

Angebote je Los im Durchschnitt (offene und nicht offene Verfahren)
2,3
dieser Lose erhielten ein einziges Angebot
41%
der Zuschläge gingen an Unternehmen mit Sitz in einem anderen Land
16%
der Angebote kamen aus einem anderen Land
16%

So, wie die amtlichen Bekanntmachungen sie angeben, über die letzten 3 Jahre. Angebote je Los zählen nur offene und nicht offene Verfahren: Im Verhandlungsverfahren oder bei einer Direktvergabe ist ein einziges Angebot das Verfahren selbst. Das Land ist das, das die Bekanntmachung für den Gewinner nennt.

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