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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) verificado hace 1 semana Anuncio de licitación

Alemania - Diversas máquinas y aparatos para usos especiales - Sistema metálico PVD para conexión QMI (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Original Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Cerrada Alemania Dresden Maquinaria industrial

Órgano de contratación Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Datos clave

Publicada
Procedimiento
Procedimiento negociado
  1. Publicada
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Resumen

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Se adquiere un sistema metálico PVD para conexión QMI (IPMS-MRS12.1), un equipo para la pulverización catódica (sputtering) de AlCu, Al, Ti/TiN y el retrogravado en cámaras independientes con blancos planos sobre obleas de 200 mm. El sistema se requiere para dos aplicaciones de línea de proceso: la deposición de un relleno metálico en el interior de TSV para la integración avanzada de chiplets MEMS y la deposición del relleno TSV metálico o por la cara frontal para sistemas de metalización QMI. En ambas aplicaciones se necesita una deposición conforme de la barrera para lograr una calidad de contacto óptima. Las posiciones opcionales incluyen un sistema de manipulación con dos secuencias simultáneas, tratamiento de bordes, procesado de obleas de cuarzo, generadores de RF con red de adaptación automática, estación de desgasificado, estación intermedia de obleas, temperatura de chuck inferior a 20 grados para el grabado, prórroga de garantía de 12 meses y un lote de piezas de desgaste.

Descripción

1 Stück PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) Ausrüstung für das Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN und das Rückätzen in unabhängigen Kammern mit planaren Targets über 200-mm-Wafern. Dieses System ist für zwei Prozesslinienanwendungen erforderlich. Eine Anwendung ist die Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets. Das zweite Anwendungsszenario ist die Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungsysteme. In beiden Anwendungen ist die konforme Abscheidung der Barriere erforderlich, um eine optimale Kontaktqualität zu erzielen. Optionale Leistungspositionen: 2.4 Handlingsystem Das Werkzeug ist in der Lage, zwei verschiedene Sequenzen gleichzeitig zu bearbeiten. ja/nein 2.9 Handlingsystem Möglichkeit zur Kantenbearbeitung ja/nein 3.6 Kassetten/Wafer-Spezifikationen Verarbeitung von Quarz-Wafern gemäß den oben genannten Spezifikationen ja/nein 4.5 Prozesssystem HF-Generatoren mit automatischem Anpassungsnetzwerk zum Anlegen einer Substratvorspannung in der Kammer für alle anderen Sputterkammern "100 - 600 W; ja/nein" 4.16 Prozesssystem Das Gerät ist mit einer Entgasungsstation ausgestattet. "Chuck temperature 200°C; yes/no" 4.17 Process System Das Gerät ist mit einer Wafer-Pufferstation ausgestattet. "Wafermenge im Puffer ≥6; ja/nein" 4.19 Prozesssystem Chucktemperatur in Prozesskammer für Prozess "Ätzen" "< 20°C; ja/nein" 19.6 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate. ja/nein 21.9 Betriebszeit/Reparatur/Zuverlässigkeit Satz von Verschleißteilen (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Grundgarantiezeit ja/nein

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 semana

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Alemania

anuncios en el registro
714
adjudicaciones
329
adjudicados en total
1,3 M €

Quién gana sus contratos

Muchos proveedores
empresas distintas ganaron sus adjudicaciones
229
de las adjudicaciones fueron a los tres adjudicatarios más frecuentes
6%
de sus licitaciones indican un valor estimado
0%

Según 290 adjudicaciones con adjudicatario identificado en los últimos 3 años. Contadas por adjudicación y no por importe, porque los importes de lotes y acuerdos marco no son comparables. Concentrado: los tres adjudicatarios más frecuentes obtuvieron el 65% de las adjudicaciones o más; muchos proveedores: menos del 35% con al menos diez adjudicatarios distintos.

Competencia

ofertas por lote de media (procedimientos abiertos y restringidos)
5,1
de esos lotes recibieron una sola oferta
22%
de las adjudicaciones fueron a empresas con sede en otro país
16%

Tal como los indican los anuncios de adjudicación oficiales, en los últimos 3 años. Las ofertas por lote cuentan solo procedimientos abiertos y restringidos: en un procedimiento negociado o una adjudicación directa, una sola oferta es el propio procedimiento. El país es el que el anuncio da para el adjudicatario.

Adjudica más a menudo a

  1. EV Group E. Thallner GmbH 8 adjudicaciones
  2. Keysight Technologies 5 adjudicaciones
  3. SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH 4 adjudicaciones

45 licitaciones abiertas ahora mismo

Contexto de mercado

abiertos ahora en Maquinaria industrial
1.886
anuncio abierto mediano
153.583 €

Quién gana en este mercado

Muchos proveedores

Alemania · Maquinaria industrial

empresas distintas ganaron adjudicaciones aquí
571
de las adjudicaciones fueron a los tres adjudicatarios más frecuentes
4%
compradores adjudicaron contratos aquí
303

Según 707 adjudicaciones con adjudicatario identificado en los últimos 3 años. Contadas por adjudicación y no por importe, porque los importes de lotes y acuerdos marco no son comparables. Concentrado: los tres adjudicatarios más frecuentes obtuvieron el 65% de las adjudicaciones o más; muchos proveedores: menos del 35% con al menos diez adjudicatarios distintos.

Competencia

ofertas por lote de media (procedimientos abiertos y restringidos)
2,3
de esos lotes recibieron una sola oferta
41%
de las adjudicaciones fueron a empresas con sede en otro país
16%
de las ofertas llegaron de otro país
16%

Tal como los indican los anuncios de adjudicación oficiales, en los últimos 3 años. Las ofertas por lote cuentan solo procedimientos abiertos y restringidos: en un procedimiento negociado o una adjudicación directa, una sola oferta es el propio procedimiento. El país es el que el anuncio da para el adjudicatario.

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