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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) verificato 1 settimana fa Bando di gara

Germania - Diverse macchine e apparecchi per usi speciali - Sistema metallico PVD per collegamento QMI (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Originale Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Chiusa Germania Dresden Macchinari industriali

Stazione appaltante Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Dati principali

Pubblicata
Procedura
Procedura negoziata
  1. Pubblicata
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Sintesi

Sintesi generata automaticamente

L'appalto riguarda un sistema metallico PVD per collegamento QMI (IPMS-MRS12.1), un'attrezzatura per lo sputtering di AlCu, Al, Ti/TiN e la incisione a ritroso in camere indipendenti con target planari su wafer da 200 mm. Il sistema è necessario per due applicazioni di linea di processo: la deposizione di un riempimento metallico all'interno dei TSV per l'integrazione avanzata di chiplet MEMS e la deposizione del riempimento TSV metallico o dal lato frontale per i sistemi di metallizzazione QMI. In entrambe le applicazioni è richiesta una deposizione conforme della barriera per ottenere una qualità di contatto ottimale. Le voci opzionali comprendono un sistema di gestione in grado di elaborare due sequenze simultaneamente, la lavorazione dei bordi, il trattamento di wafer di quarzo, generatori RF con rete di adattamento automatica, una stazione di degassaggio, una stazione di bufferizzazione wafer, una temperatura di chuck inferiore a 20 gradi per l'incisione, una proroga della garanzia di 12 mesi e un set di parti di usura.

Descrizione

1 Stück PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) Ausrüstung für das Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN und das Rückätzen in unabhängigen Kammern mit planaren Targets über 200-mm-Wafern. Dieses System ist für zwei Prozesslinienanwendungen erforderlich. Eine Anwendung ist die Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets. Das zweite Anwendungsszenario ist die Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungsysteme. In beiden Anwendungen ist die konforme Abscheidung der Barriere erforderlich, um eine optimale Kontaktqualität zu erzielen. Optionale Leistungspositionen: 2.4 Handlingsystem Das Werkzeug ist in der Lage, zwei verschiedene Sequenzen gleichzeitig zu bearbeiten. ja/nein 2.9 Handlingsystem Möglichkeit zur Kantenbearbeitung ja/nein 3.6 Kassetten/Wafer-Spezifikationen Verarbeitung von Quarz-Wafern gemäß den oben genannten Spezifikationen ja/nein 4.5 Prozesssystem HF-Generatoren mit automatischem Anpassungsnetzwerk zum Anlegen einer Substratvorspannung in der Kammer für alle anderen Sputterkammern "100 - 600 W; ja/nein" 4.16 Prozesssystem Das Gerät ist mit einer Entgasungsstation ausgestattet. "Chuck temperature 200°C; yes/no" 4.17 Process System Das Gerät ist mit einer Wafer-Pufferstation ausgestattet. "Wafermenge im Puffer ≥6; ja/nein" 4.19 Prozesssystem Chucktemperatur in Prozesskammer für Prozess "Ätzen" "< 20°C; ja/nein" 19.6 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate. ja/nein 21.9 Betriebszeit/Reparatur/Zuverlässigkeit Satz von Verschleißteilen (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Grundgarantiezeit ja/nein

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 settimana fa

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Germania

avvisi nel registro
714
aggiudicazioni
329
aggiudicati in totale
1,3 Mln €

Chi vince i suoi appalti

Molti fornitori
aziende diverse hanno vinto i suoi appalti
229
degli appalti è andato ai tre aggiudicatari più frequenti
6%
delle sue gare indicano un valore stimato
0%

Sulla base di 290 aggiudicazioni con aggiudicatario indicato negli ultimi 3 anni. Contate per aggiudicazione e non per importo, perché gli importi di lotti e accordi quadro non sono confrontabili. Concentrato: i tre aggiudicatari più frequenti hanno ottenuto il 65% degli appalti o più; molti fornitori: meno del 35% con almeno dieci aggiudicatari diversi.

Concorrenza

offerte per lotto in media (procedure aperte e ristrette)
5,1
di quei lotti hanno ricevuto una sola offerta
22%
delle aggiudicazioni è andato ad aziende con sede in un altro paese
16%

Come li indicano gli avvisi di aggiudicazione ufficiali, negli ultimi 3 anni. Le offerte per lotto contano solo le procedure aperte e ristrette: in una procedura negoziata o in un affidamento diretto una sola offerta è la procedura stessa. Il paese è quello che l'avviso indica per l'aggiudicatario.

Aggiudica più spesso a

  1. EV Group E. Thallner GmbH 8 aggiudicazioni
  2. Keysight Technologies 5 aggiudicazioni
  3. SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH 4 aggiudicazioni

45 gare aperte in questo momento

Contesto di mercato

aperti ora in Macchinari industriali
1.886
avviso aperto mediano
153.583 €

Chi vince in questo mercato

Molti fornitori

Germania · Macchinari industriali

aziende diverse hanno vinto appalti qui
571
degli appalti è andato ai tre aggiudicatari più frequenti
4%
stazioni appaltanti hanno aggiudicato appalti qui
303

Sulla base di 707 aggiudicazioni con aggiudicatario indicato negli ultimi 3 anni. Contate per aggiudicazione e non per importo, perché gli importi di lotti e accordi quadro non sono confrontabili. Concentrato: i tre aggiudicatari più frequenti hanno ottenuto il 65% degli appalti o più; molti fornitori: meno del 35% con almeno dieci aggiudicatari diversi.

Concorrenza

offerte per lotto in media (procedure aperte e ristrette)
2,3
di quei lotti hanno ricevuto una sola offerta
41%
delle aggiudicazioni è andato ad aziende con sede in un altro paese
16%
delle offerte veniva da un altro paese
16%

Come li indicano gli avvisi di aggiudicazione ufficiali, negli ultimi 3 anni. Le offerte per lotto contano solo le procedure aperte e ristrette: in una procedura negoziata o in un affidamento diretto una sola offerta è la procedura stessa. Il paese è quello che l'avviso indica per l'aggiudicatario.

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