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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) vérifié il y a 1 semaine Avis de marché

Allemagne - Machines et appareils divers pour usages spéciaux - Système métallique PVD pour raccordement QMI (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Original Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) - PR926027-2480-P

Clôturé Allemagne Dresden Machines industrielles

Acheteur public Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

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L'acheteur acquiert un système métallique PVD pour raccordement QMI (IPMS-MRS12.1), un équipement de pulvérisation d'AlCu, Al, Ti/TiN et de gravure inversée dans des chambres indépendantes avec cibles planes sur des wafers de 200 mm. Ce système est nécessaire pour deux applications de ligne de procédé : le dépôt d'un remplissage métallique à l'intérieur de TSV pour l'intégration avancée de chiplets MEMS, et le dépôt de remplissage TSV métallique ou côté face pour les systèmes de métallisation QMI. Dans les deux applications, un dépôt de barrière conforme est requis pour une qualité de contact optimale. Les positions optionnelles comprennent un système de manipulation traitant deux séquences simultanément, l'usinage de chant, le traitement de wafers en quartz, des générateurs HF avec réseau d'adaptation automatique, une station de dégazage, une station tampon de wafers, une température de chuck inférieure à 20 degrés pour la gravure, une prolongation de garantie de 12 mois et un jeu de pièces d'usure.

Description

1 Stück PVD metal system for QMI connection (IPMS-MRS12.1) Ausrüstung für das Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN und das Rückätzen in unabhängigen Kammern mit planaren Targets über 200-mm-Wafern. Dieses System ist für zwei Prozesslinienanwendungen erforderlich. Eine Anwendung ist die Abscheidung einer Metallfüllung im Inneren von TSV für die fortschrittliche Integration von MEMS-Chiplets. Das zweite Anwendungsszenario ist die Metallsystem- oder Frontside-TSV-Füllungsabscheidung für QMI-Metallisierungsysteme. In beiden Anwendungen ist die konforme Abscheidung der Barriere erforderlich, um eine optimale Kontaktqualität zu erzielen. Optionale Leistungspositionen: 2.4 Handlingsystem Das Werkzeug ist in der Lage, zwei verschiedene Sequenzen gleichzeitig zu bearbeiten. ja/nein 2.9 Handlingsystem Möglichkeit zur Kantenbearbeitung ja/nein 3.6 Kassetten/Wafer-Spezifikationen Verarbeitung von Quarz-Wafern gemäß den oben genannten Spezifikationen ja/nein 4.5 Prozesssystem HF-Generatoren mit automatischem Anpassungsnetzwerk zum Anlegen einer Substratvorspannung in der Kammer für alle anderen Sputterkammern "100 - 600 W; ja/nein" 4.16 Prozesssystem Das Gerät ist mit einer Entgasungsstation ausgestattet. "Chuck temperature 200°C; yes/no" 4.17 Process System Das Gerät ist mit einer Wafer-Pufferstation ausgestattet. "Wafermenge im Puffer ≥6; ja/nein" 4.19 Prozesssystem Chucktemperatur in Prozesskammer für Prozess "Ätzen" "< 20°C; ja/nein" 19.6 Gewährleistungsverlängerung Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate. ja/nein 21.9 Betriebszeit/Reparatur/Zuverlässigkeit Satz von Verschleißteilen (Lampen, O-Ringe, Ventile usw.) zur Abdeckung der Grundgarantiezeit ja/nein

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 1 semaine

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Allemagne

avis dans le registre
714
attributions
329
attribués au total
1,3 M €

Qui remporte ses marchés

Nombreux fournisseurs
entreprises différentes ont remporté ses attributions
229
des attributions sont allées aux trois titulaires les plus fréquents
6%
de ses appels d'offres indiquent une valeur estimée
0%

D'après 290 attributions avec un titulaire nommé sur les 3 dernières années. Compté par attribution et non par montant, car les montants des lots et des accords-cadres ne sont pas comparables. Concentré : les trois titulaires les plus fréquents ont obtenu 65% des attributions ou plus ; nombreux fournisseurs : moins de 35% avec au moins dix titulaires différents.

Concurrence

offres par lot en moyenne (procédures ouvertes et restreintes)
5,1
de ces lots ont reçu une seule offre
22%
des attributions sont allées à des entreprises établies dans un autre pays
16%

Tels que les avis d'attribution officiels les indiquent, sur les 3 dernières années. Les offres par lot ne comptent que les procédures ouvertes et restreintes : dans une procédure négociée ou une attribution directe, une seule offre est la procédure elle-même. Le pays est celui que l'avis donne pour le titulaire.

Attribue le plus souvent à

  1. EV Group E. Thallner GmbH 8 attributions
  2. Keysight Technologies 5 attributions
  3. SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH 4 attributions

45 marchés ouverts actuellement

Contexte de marché

ouverts en ce moment, Machines industrielles
1 879
avis ouvert médian
157 000 €

Qui remporte les marchés ici

Nombreux fournisseurs

Allemagne · Machines industrielles

entreprises différentes ont remporté des attributions ici
571
des attributions sont allées aux trois titulaires les plus fréquents
4%
acheteurs ont attribué des marchés ici
303

D'après 707 attributions avec un titulaire nommé sur les 3 dernières années. Compté par attribution et non par montant, car les montants des lots et des accords-cadres ne sont pas comparables. Concentré : les trois titulaires les plus fréquents ont obtenu 65% des attributions ou plus ; nombreux fournisseurs : moins de 35% avec au moins dix titulaires différents.

Concurrence

offres par lot en moyenne (procédures ouvertes et restreintes)
2,3
de ces lots ont reçu une seule offre
41%
des attributions sont allées à des entreprises établies dans un autre pays
16%
des offres venaient d'un autre pays
16%

Tels que les avis d'attribution officiels les indiquent, sur les 3 dernières années. Les offres par lot ne comptent que les procédures ouvertes et restreintes : dans une procédure négociée ou une attribution directe, une seule offre est la procédure elle-même. Le pays est celui que l'avis donne pour le titulaire.

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