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France - Microelectronic machines and apparatus - Supply of deep etching equipment

Original France - Machines et appareils microélectroniques - Fourniture d'un équipement de gravure profonde

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The Aperlena Verdict

Open race

No supplier dominates: 10 different companies have won the last 10 comparable contracts from this buyer over 5 years. This is a genuinely open race.

Based on 10 comparable awards by this buyer in this sector over 5 years. Every verdict is recorded before the outcome and graded against the award notice. How we score ourselves.

Summary

Machine-generated summary

CEA-LETI in France intends to acquire a 200 mm semiconductor tool with a 200 mm deep silicon etch chamber. The chamber must support Bosch and non-Bosch silicon etch processes, be compatible with fluorinated gases and perform through-wafer etching. It must automatically process different substrate types without hardware changes, including bonded wafers, wafers of varying thicknesses, wafers with organic backside layers and wafers with etched backside cavities. It must include an OES end-point detection system, bevel edge protection and Via Reveal end-point detection. A mandatory maintenance training option is included, plus several optional supplies.

Description

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. L'option obligatoire: - Option n°1: Formation maintenance niveau 1 Les options facultatives : -Option n°2: Chiller -Option n°3: Pompe -Option n°4: Transformateur électrique -Option n°5: Formation maintenance avancée -Option n°6: Extension de garantie 1 an supplémentaire Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal. L'option à chiffrage obligatoire: -Option n°1: Formation maintenance niveau 1 Les options à chiffrage facultatif : -Option n°2 : Chiller -Option n°3 : Pompe -Option n°4 : Transformateur électrique -Option n°5 : Formation Maintenance Avancée -Option n°6 : Extension de garantie 1 an supplémentaire

Official source

Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Always verify details on the official notice.

Last verified against TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 month ago

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Full buyer profile

32 open tenders right now

Who usually wins this buyer's contracts in this sector

Company Wins Total awarded Last win
MATECH ELECTRONIQUE SAS 1 €317,500 Aug 2026
Beneq Oy 1 n/a Jan 2026
CRYO DIFFUSION 1 n/a Jul 2026
EURIS SAS 1 n/a May 2026
Ion Beam Services SAS 1 n/a May 2026

Based on 10 awards with a linked company profile over the last 5 years.

What this buyer has paid before

Based on 10 comparable contracts this buyer awarded in this sector over the last 4 years.

€1
Lower quartile
€1
Median award
€1
Upper quartile

Most recent awards

Award values as published by the official sources. Use them as a guide, not a rule: scope, lots and duration differ between contracts.

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