Saltar al contenido
Aperlena
Idioma:

Alemania - Máquinas y aparatos microelectrónicos - Sistema CD y overlay en línea de 300mm totalmente automatizado de alta resolución (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P

Original Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P

Abierta Anuncio de licitación Sin fecha límite publicada
Vigilar esta licitación

Te escribimos si cambia el plazo o se publica una corrección. Gratis. Iniciar sesión

El Veredicto Aperlena

Carrera abierta

Ningún proveedor domina: 13 empresas distintas se han llevado los últimos 16 contratos comparables de este comprador en 5 años. Es una carrera realmente abierta.

Basado en 16 adjudicaciones comparables de este comprador en este sector durante 5 años. Cada veredicto se registra antes del resultado y se contrasta con el anuncio de adjudicación. Cómo nos puntuamos.

Resumen

Resumen generado automáticamente

Esta licitación alemana contempla la adquisición de un equipo de medición totalmente automatizado para captar estructuras de overlay y de dimensión crítica (CD) en obleas de 300mm y 200mm fabricadas mediante imagen directa por láser y litografía i-line. El equipo debe manejar sustratos de silicio o vidrio de hasta 2,5mm de grosor, cargar obleas automáticamente desde FOUPs, realizar las mediciones y devolverlas a su posición original. Debe admitir la programación de recetas para I+D y ser compatible con pilas 3D de obleas deformadas. El comprador es un instituto de investigación alemán (referencia IZM).

Descripción

1 Stück: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Overlay- und Critical-Dimension-Strukturen (CD) auf 300-mm- und 200-mm-Wafern, die mittels Laser-Direct-Imaging (LDI) und i-Line-Lithografie hergestellt wurden. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte Erfassung kleinerer Strukturgrößen. Das Gerät ist unverzichtbar für die zerstörungsfreie Charakterisierung hochintegrierter, auf Chiplets basierender 2,5D/3D- und quasi-monolithischer Gehäusearchitekturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich. Die Anlage ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine hohe Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Die Wafer-Substrate bestehen aus Silizium und/oder Glas mit einer Dicke von bis zu 2,5 mm. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: - Laden bestimmter Wafer aus den FOUPs - Durchführung von Messaufgaben - Zurücklegen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUP(s) Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen von Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird verlangt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Ausrüstung mit allen nachstehend beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erfüllt.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

Ver el anuncio oficial

Más de este comprador

Perfil completo del comprador

87 licitaciones abiertas ahora mismo

Quién suele ganar los contratos de este comprador en este sector

Empresa Adjudicaciones Importe total adjudicado Última adjudicación
EKRA Automatisierungssysteme GmbH 2 n/d jul. 2026
EV Group E. Thallner GmbH 2 n/d jul. 2026
Veeco GmbH 2 n/d may. 2026
Applied Materials GmbH 1 n/d feb. 2026
Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. 1 n/d ago. 2026

A partir de 16 adjudicaciones con perfil de empresa vinculado en los últimos 5 años.

Historial de cambios

Cada vez que una fuente oficial ha vuelto a publicar este anuncio con contenido distinto. Vigilamos todas las fuentes que indexamos, incluidas las copias regionales del mismo anuncio.

  1. Léelo antes de presentarte
    • Objeto y criterios: Se ha ampliado la descripción. Reléela antes de presentarte.

Sigue esta licitación y te escribimos en cuanto cambie. Crear cuenta

Licitaciones similares

Contexto de mercado

Licitación abierta media · Maquinaria eléctrica
51.831.789 €
3.118 abiertas ahora en Europa
Historial del comprador en Aperlena
385 anuncios registrados · 181 adjudicados
651.275 € en contratos adjudicados

No te pierdas ninguna licitación como esta

36 anuncios nuevos de Maquinaria eléctrica en Alemania en los últimos 7 días. Recibe un email cuando aparezcan anuncios nuevos. Gratis.

Crear mi alerta
Fuente

Atajos de teclado

Recorre una lista sin tocar el ratón. Los atajos no actúan mientras escribes en un campo.

j
Resultado siguiente
k
Resultado anterior
Intro
Abrir el resultado
n
Página siguiente
p
Página anterior
c
Comparar este resultado
s
Añadir este resultado a la lista corta
/
Ir al cuadro de búsqueda
?
Mostrar estos atajos
Esc
Cerrar