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Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - ALD-Anlage

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  1. Veröffentlicht
  2. Frist 34 Tage offen
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien schreibt eine plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage zur Dünnschichtabscheidung aus. Die Anlage muss leitfähige, halbleitende und dielektrische Schichten auf verschiedenen Substraten abscheiden, vom Einzelchipformat (5 x 5 mm) bis mindestens 150 mm Wafer. Eine Verarbeitung von Multilagen ohne Vakuumunterbrechung ist erforderlich. Geliefert werden muss ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, Software-Lizenzen und Windows 11. Der Auftraggeber sitzt in Deutschland. Im Text werden kein geschätzter Auftragswert, keine Einreichungsfrist, keine Zulassungskriterien für Bieter und keine Angaben zum Vergabeverfahren genannt.

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

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Jedes Mal, wenn eine offizielle Quelle diese Bekanntmachung mit geändertem Inhalt erneut veröffentlicht hat. Wir beobachten alle Quellen, die wir indexieren, auch regionale Kopien derselben Bekanntmachung.

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    • Geschätzter Wert: Festgelegt auf 461.344 €
    • Angebotsfrist: 1 Tag FRÜHER: jetzt 11. August 2026, 00:00
    • Geschätzter Wert: Festgelegt auf 461.344 €

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