Zusammenfassung
Maschinell erstellte ZusammenfassungDas Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. vergab einen Vertrag über eine plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für die Dünnschichtabscheidung. Die Anlage soll Dünnschichten auf Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer abscheiden und reproduzierbare Prozesse für leitfähige, halbleitende und dielektrische Schichten ermöglichen, auch als Multilagen ohne Vakuumunterbrechung. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, Software-Lizenzen und Windows 11 ist enthalten. Den Vertrag gewann die SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH für EUR 461,344, was dem geschätzten Wert innerhalb von 1% entspricht. Das Vergabedatum war der 2026-09-07.
Beschreibung
Amtliche Quelle
Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.
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