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Alemania - Equipos de laboratorio, ópticos y de precisión (excepto vidrio) - Sistema ALD

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - ALD-Anlage

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  1. Publicada
  2. Fecha límite abierta 34 días
  3. Adjudicada pendiente

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El Instituto Leibniz de Tecnologías Fotónicas adquiere un sistema de deposición de capas atómicas mejorada por plasma para el depósito de capas finas. El equipo debe depositar capas conductoras, semiconductoras y dieléctricas en varios sustratos, desde el formato de chip individual (5 x 5 mm) hasta obleas de al menos 150 mm. Se exige el procesamiento de multicapas sin interrumpir el vacío. La entrega incluye un PC de control con monitor, teclado, ratón, licencias de software y Windows 11. El comprador está en Alemania. No se proporcionan valores, fechas límite, criterios de licitadores ni procedimientos.

Descripción

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes

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    • Valor estimado: Fijado en 461.344 €
    • Plazo de presentación: Adelantado 1 día: ahora 11 de agosto de 2026, 00:00
    • Valor estimado: Fijado en 461.344 €

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