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Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - ALD-Anlage

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  1. Veröffentlicht
  2. Frist 7 Tage offen
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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat eine Ausschreibung für eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für die Dünnschichtabscheidung veröffentlicht. Die Anlage soll Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten abscheiden, vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer. Zentrale Anforderungen sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten, die auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden sollen. Mitzuliefern sind ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11). Der geschätzte Wert beträgt EUR 461,344. Die Angebotsfrist ist abgelaufen; Fristende war der 2026-09-01.

Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 3 Wochen

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