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Alemania - Instrumentos de laboratorio, ópticos y de precisión (excepto vidrios) - Sistema ALD

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - ALD-Anlage

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  1. Publicada
  2. Fecha límite abierta 7 días
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El Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. publicó un anuncio de contratación para la adquisición de un sistema de deposición de capas atómicas asistido por plasma (PE-ALD) para la deposición de capas delgadas. El sistema deberá depositar capas delgadas sobre diferentes sustratos, desde el formato de chip individual (5 x 5 mm²) hasta obleas de al menos 150 mm. Los requisitos centrales incluyen procesos de deposición reproducibles de diversas capas conductoras, semiconductoras y dieléctricas, que también deberán procesarse sin interrupción del vacío (multicapas). Debe suministrarse un PC de control con monitor, teclado, ratón, licencias de software adecuadas y un sistema operativo actual (Win 11). El valor estimado es de EUR 461,344. La presentación de ofertas está cerrada; el plazo finalizaba el 2026-09-01.

Descripción

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 3 semanas

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