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Germania - Strumenti da laboratorio, ottici e di precisione (esclusi vetri) - Impianto ALD

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  1. Pubblicata
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Sintesi

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Il Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. ha pubblicato un avviso di appalto per l'acquisto di un sistema di deposizione di strati atomici assistito al plasma (PE-ALD) destinato alla deposizione di strati sottili. Il sistema dovrà depositare strati sottili su diversi substrati, dal formato di chip singolo (5 x 5 mm²) fino a wafer di almeno 150 mm. I requisiti centrali riguardano processi di deposizione riproducibili per vari strati conduttivi, semiconduttori e dielettrici, da processare anche senza interruzione del vuoto (multistrati). Deve essere fornito un PC di controllo con monitor, tastiera, mouse, licenze software adeguate e sistema operativo aggiornato (Win 11). Il valore stimato è di EUR 461,344. La presentazione delle offerte è chiusa; il termine era il 2026-09-01.

Descrizione

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 3 settimane fa

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