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Allemagne - Instruments de laboratoire, d'optique et de précision (sauf verres) - Installation ALD

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - ALD-Anlage

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  1. Publié
  2. Date limite ouvert 7 jours
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Résumé

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Le Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. a publié un avis de marché pour l'acquisition d'un système de dépôt par couches atomiques assisté par plasma (PE-ALD) destiné au dépôt de couches minces. Le système doit déposer des couches minces sur différents substrats, du format de puce individuelle (5 x 5 mm²) jusqu'à des wafers d'au moins 150 mm. Les exigences centrales sont des processus de dépôt reproductibles pour diverses couches conductrices, semi-conductrices et diélectriques, traitées également sans interruption du vide (multicouches). Un PC de commande avec écran, clavier, souris, licences logicielles appropriées et système d'exploitation actuel (Win 11) doit être fourni. La valeur estimée est de EUR 461,344. La remise des offres est close ; la date limite était le 2026-09-01.

Description

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 3 semaines

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Appel ouvert moyen · Équipements de laboratoire & de précision
5 397 473 €
2 038 ouverts en Europe actuellement 91% en dessous de la moyenne du secteur
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9 avis suivis · 3 attribués
958 204 € de contrats attribués

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