Zusammenfassung
Maschinell erstellte ZusammenfassungDie Fraunhofer-Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e. V. hat einen Vertrag fuer ein Upgrade des bestehenden Prozessueberwachungssystems mesc21-11 vergeben, eines Nanofocus-Topografiemesssystems mit der Seriennummer 700259, am Standort Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. Das Upgrade besteht aus einem automatischen Handhabungssystem fuer Wafer in einer getrennt gekapselten Umgebung. Das System uebernimmt Wafer aus einem SEMI-300-mm-FOUP in das bestehende Messtool und kann 200-mm-Wafer in einen passenden Adapter einfuehren, damit eine Bearbeitung auf Standard-300-mm-Tools moeglich ist, und die 200-mm-Wafer im Adapter in einen SEMI-Standard-300-mm-FOUP uebergeben. Der Vertrag wurde vergeben.
Beschreibung
Amtliche Quelle
Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
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