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Allemagne - Diverses machines et appareils a usage special - Process Monitoring Tool

Original Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Process Monitoring Tool

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Fraunhofer-Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e. V. a attribue un marche pour une mise a niveau du systeme existant de surveillance de processus mesc21-11, un systeme de mesure de topographie Nanofocus portant le numero de serie 700259, situe au Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. La mise a niveau consiste en un systeme de manipulation automatique de gauflettes dans un environnement separement clos. Le systeme transfere des gauflettes d'une FOUP SEMI de 300 mm vers l'outil de mesure existant et peut introduire des gauflettes de 200 mm dans un adaptateur approprie, permettant un traitement sur des outils standard de 300 mm, puis transferer les gauflettes de 200 mm dans l'adaptateur vers une FOUP SEMI standard de 300 mm. Le marche a ete attribue. Le prix attribue, la valeur estimee, le nombre d'offres, la duree et la date de remise au marche ne figurent pas dans les faits.

Description

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 3 semaines

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Appel ouvert moyen · Machines industrielles
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