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Deutschland - Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke - Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

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Beschreibung

Modular, fully automated prober for optical inspection and electrical contact of electronic, photonic and mi-cro-mechanical devices - including advanced manufacturing approaches such as quasi-monolithic integration. The system handles 200 mm wafers as well as frames, tapes, trays and comparable substrates. An end-to-end carrier handling system loads carriers with mounted substrates from specialized cassettes, positions them on the prober's vacuum chuck and performs fully automated alignment. A testcard/probe-card interface is provided for electrical connection. Probe detection and fine positioning are performed automatically to ensure reproducible contact conditions. The control software supports program-mable sequence control and reference-point based alignment. For optical inspection the system offers a movable mechanical interface to accept modular, customer-supplied optical inspection modules (e.g., microscope with camera) with lateral and vertical adjustment. The space above the probe platen (platen area) must remain completely clear during measurements; this is necessary to allow customer analysis hardware to be installed, aligned and operated without restriction and to prevent prober-internal assemblies from obstructing access, line-of-sight or mounting of customer equipment.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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