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Germania - Diverse macchine e apparecchi per usi speciali - Process Monitoring Tool

Originale Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Process Monitoring Tool

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Sintesi

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Fraunhofer-Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e. V. ha affidato un contratto per l'aggiornamento del sistema esistente di monitoraggio dei processi mesc21-11, un sistema di misura della topografia Nanofocus con numero di serie 700259, situato presso il Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. L'aggiornamento consiste in un sistema di movimentazione automatica di wafer in un ambiente chiuso separato. Il sistema trasferisce wafer da una FOUP SEMI da 300 mm allo strumento di misura esistente e puo introdurre wafer da 200 mm in un apposito adattatore, consentendo la lavorazione su strumenti standard da 300 mm, e trasferire i wafer da 200 mm nell'adattatore in una FOUP SEMI standard da 300 mm. Il contratto e stato affidato.

Descrizione

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 3 settimane fa

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