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Alemania - Diversas maquinas y aparatos para usos especiales - Process Monitoring Tool

Original Deutschland - Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - Process Monitoring Tool

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Fraunhofer-Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e. V. adjudico un contrato para la mejora del sistema existante de monitorizacion de procesos mesc21-11, un sistema de medicion de topografia Nanofocus con el numero de serie 700259, ubicado en Fraunhofer IPMS CNT, An der Bartlake 5. La mejora consiste en un sistema automatico de manipulacion de obleas en un entorno cerrado separado. El sistema transfiere obleas desde una FOUP SEMI de 300 mm a la herramienta de medicion existente y puede introducir obleas de 200 mm en un adaptador adecuado, lo que permite su procesado en herramientas estandar de 300 mm, y transferir las obleas de 200 mm en el adaptador a una FOUP SEMI estandar de 300 mm. El contrato ha sido adjudicado.

Descripción

Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 3 semanas

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