Przejdź do treści
Aperlena
Język:

Francja - Maszyny i urządzenia mikroelektroniczne - Dostawa urządzenia do głębokiego trawienia

Oryginał France - Machines et appareils microélectroniques - Fourniture d'un équipement de gravure profonde

Udzielony Ogłoszenie o udzieleniu zamówienia Nie opublikowano terminu
Obserwuj ten przetarg

Składanie ofert zakończone. Udzielenie zamówienia lub sprostowanie tego ogłoszenia: e-mail, gdy rejestr to zobaczy. Zaloguj się

  1. Opublikowano
  2. Udzielony oczekuje

Streszczenie

Streszczenie wygenerowane automatycznie

CEA-LETI w Grenoble zakupiło urządzenie 200 mm z komorą do głębokiego trawienia krzemu o wymiarze 200 mm. Komora musi realizować procesy Bosch i nie-Bosch dla krzemu, być kompatybilna z gazami fluorowanymi i trawić przez całą płytkę. Urządzenie musi obsługiwać w trybie automatycznym, bez modyfikacji ani wymiany sprzętu, płytki klejone (krzem na szkle SOG i krzem na krzemie), płytki o różnych grubościach, płytki z warstwami organicznymi na odwrocie oraz płytki z wytrawionymi kieszeniami na odwrocie. Sprzęt obejmuje detekcję końca procesu OES, ochronę fazowanych krawędzi płytek oraz detekcję końca procesu dla trawienia Via Reveal. Kontrakt otrzymała KLA Corporation.

Opis

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.

Oficjalne źródło

Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.

Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 tydzień temu

Zobacz oficjalne ogłoszenie

Więcej od tego zamawiającego

Pełny profil zamawiającego

32 otwartych przetargów w tej chwili

Ostatnie udzielenia

Podobne przetargi

Kontekst rynkowy

Śr. otwarty przetarg · Maszyny elektryczne
52 168 789 €
3 126 otwartych teraz w Europie
Historia zamawiającego w Aperlena
75 zarejestrowanych ogłoszeń · 24 udzielonych
5 160 042 € w udzielonych zamówieniach

Nie przegap przetargów takich jak ten

38 nowych ogłoszeń w ostatnich 7 dniach: Maszyny elektryczne, Francja. Otrzymuj e-mail, gdy pojawią się nowe ogłoszenia. Za darmo.

Ustaw mój alert
Źródło

Skróty klawiszowe

Przeglądaj listę bez sięgania po mysz. Skróty nie działają podczas pisania w polu.

j
Następny wynik
k
Poprzedni wynik
Enter
Otwórz wynik
n
Następna strona
p
Poprzednia strona
c
Porównaj ten wynik
s
Dodaj ten wynik do krótkiej listy
/
Przejdź do pola wyszukiwania
?
Pokaż te skróty
Esc
Zamknij