Resumen
Resumen generado automáticamenteEl CEA-LETI de Grenoble adquirió un equipo de 200 mm con una cámara de grabado profundo de silicio de 200 mm. La cámara debe realizar procesos Bosch y no Bosch de silicio, ser compatible con gases fluorados y grabar a través de la oblea. Debe procesar en modo automático, sin modificaciones ni cambios de hardware, obleas pegadas (silicio sobre vidrio SOG y silicio sobre silicio), obleas de distintos espesores, obleas con capas orgánicas en el reverso y obleas con cavidades grabadas en el reverso. El equipo incluye detección de fin de proceso OES, protección de bordes biselados y detección de fin de proceso para el grabado Via Reveal. El contrato se adjudicó a KLA Corporation.
Descripción
Fuente oficial
Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
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