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Francia - Máquinas y aparatos microelectrónicos - Suministro de un equipo de grabado profundo

Original France - Machines et appareils microélectroniques - Fourniture d'un équipement de gravure profonde

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El CEA-LETI de Grenoble adquirió un equipo de 200 mm con una cámara de grabado profundo de silicio de 200 mm. La cámara debe realizar procesos Bosch y no Bosch de silicio, ser compatible con gases fluorados y grabar a través de la oblea. Debe procesar en modo automático, sin modificaciones ni cambios de hardware, obleas pegadas (silicio sobre vidrio SOG y silicio sobre silicio), obleas de distintos espesores, obleas con capas orgánicas en el reverso y obleas con cavidades grabadas en el reverso. El equipo incluye detección de fin de proceso OES, protección de bordes biselados y detección de fin de proceso para el grabado Via Reveal. El contrato se adjudicó a KLA Corporation.

Descripción

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.

Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 semana

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