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Francia - Macchine e apparecchi microelettronici - Fornitura di un'attrezzatura per incisione profonda

Originale France - Machines et appareils microélectroniques - Fourniture d'un équipement de gravure profonde

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Il CEA-LETI di Grenoble ha acquistato un'attrezzatura da 200 mm con una camera di incisione profonda del silicio da 200 mm. La camera deve eseguire processi Bosch e non Bosch su silicio, essere compatibile con gas fluorurati e incidere attraverso la wafer. Deve trattare in modalità automatica, senza modifiche o sostituzioni hardware, wafer incollati (silicio su vetro SOG e silicio su silicio), wafer di spessori diversi, wafer con strati organici sul retro e wafer con cavità incise sul retro. Lo strumento è dotato di rilevamento di fine processo OES, protezione dei bordi smussati e rilevamento di fine processo per l'incisione Via Reveal. Il contratto è stato assegnato a KLA Corporation. Nessun valore, numero di offerte, durata o data di rinnovo sul mercato indicati.

Descrizione

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos. L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 settimana fa

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