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Finlande - Équipements de laboratoire, optiques et de précision (hors lunettes) - Outil de cluster de pulvérisation avec manipulation des bords

Original Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

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  1. Publié
  2. Date limite ouvert 18 jours
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L'acheteur, VTT Micronova, acquiert un outil de cluster de pulvérisation avec manipulation des bords pour sa salle blanche front-end de semi-conducteurs en Finlande. L'équipement est conçu pour des tranches de 200 mm et comprend une chambre de dépôt avec quatre sources de pulvérisation par magnétron. Une caractéristique clé est que les tranches ne sont touchées mécaniquement qu'au bord pendant le transport et le traitement, et elles peuvent être retournées sous vide entre les processus. Les exigences techniques sont détaillées dans les documents d'appel d'offres. La valeur estimée, la date limite, les soumissionnaires et la procédure ne sont pas spécifiés.

Description

The object of the tender process is an edge-handling sputtering cluster tool (later also “Equipment”). The Equipment is a sputtering cluster tool for 200-mm wafers with wafer edge-handling capability for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end. The procurement includes a deposition chamber with four magnetron sputtering sources. During transport and processing, the wafers are mechanically touched only at the wafer edge, and they can be flipped in vacuum between the processes. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 1 mois

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