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Finlande - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (hors lunettes) - Rectifieuse à faisceau d'ions

Original Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Ion beam trimmer

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VTT Technical Research Centre of Finland Ltd a attribué un contrat pour un outil de rectification à faisceau de particules pour plaquettes de 200 mm, destiné au traitement frontal des semi-conducteurs dans la salle blanche VTT Micronova. Le faisceau de particules peut être un faisceau d'ions ou un faisceau d'agrégats gazeux, avec une largeur à mi-hauteur entre 3 et 15 mm. L'outil devait être compatible avec une installation dans une salle blanche classée ISO 4. Le contrat a été attribué à Sales Department pour 1 256 300 EUR. La date d'attribution était le 02.09.2026. Des détails supplémentaires figuraient dans les documents de l'invitation à soumissionner.

Description

The object of the tender was 200 mm wafer particle beam trimming tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The particle beam may be an ion beam, or a gas cluster beam, with a full width at half maximum within 3-15 mm. The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 2 semaines

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