Resumen
Resumen generado automáticamenteEl comprador, VTT Micronova, adquiere una herramienta de clúster de pulverización con manejo de bordes para su sala limpia front-end de semiconductores en Finlandia. El equipo está diseñado para obleas de 200 mm e incluye una cámara de deposición con cuatro fuentes de pulverización por magnetrón. Una característica clave es que las obleas solo se tocan mecánicamente en el borde durante el transporte y el procesamiento, y pueden voltearse en vacío entre los procesos. Los requisitos técnicos se detallan en los documentos de licitación. El valor estimado, la fecha límite, los licitantes y el procedimiento no están especificados en el texto.
Descripción
Fuente oficial
Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.
Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes
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