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TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) vérifié il y a 4 jours Avis de marché

Outil de nettoyage à chambre unique (IZM-137) pour la fabrication de semi-conducteurs

Original Deutschland - Mikroelektronische Maschinen und Geräte - Single Chamber Cleaning Tool (IZM-137) - PR1094599-3460-P

Ouvert Allemagne Dresden Machines électriques

Acheteur public Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Informations clés

Publié
Procédure
Procédure négociée
  1. Publié

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Résumé

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Fourniture d'un outil de nettoyage à chambre unique, système de nettoyage chimique humide destiné à la fabrication de semi-conducteurs. Le système comprend des unités d'alimentation en fluides, des modules de pulvérisation et de rinçage ainsi que des unités d'ionisation pour le contrôle et la surveillance précis des paramètres de processus. Il nettoie des photomasques, des substrats de tranches montés sur cadres film et des tranches rondes de 200 mm et 300 mm de diamètre, avec des solutions chimiques Piranha et SC1, complétées par un mouvement ultrasonique ou un nettoyage assisté par brosses afin d'éliminer les résidus organiques, les particules et les contaminations de surface. L'objectif est l'élimination des particules supérieures à 250 nm pour les applications de lithographie i-Line. Options : système de brosses rotatives verticales, bras de dosage programmable, matériaux résistants aux produits chimiques, débit et pression réglables avec alarmes, cycles d'auto-nettoyage et verrouillages logiciels.

Description

Single Chamber Cleaning Tool (IZM-137) 1x Single Chamber Cleaning Tool Diese Spezifikation beschreibt die Komponenten und Funktionen eines Nasschemikalien-Reinigungssystems für die Halbleiterfertigung. Das System umfasst verschiedene Medienversorgungseinheiten, Sprüh- und Spülmodule sowie Ionisierungseinheiten zur präzisen Steuerung und Überwachung der Prozessparameter. Das System unterstützt die Reinigung von Fotomasken, auf Filmrahmen montierten Wafer-Substraten sowie runden Wafern mit 200 mm und 300 mm Durchmesser. Diese Reinigungsprozesse verwenden Piranha- und SC1-Chemikalienlösungen und werden durch Ultraschallbewegung oder bürstenunterstützte Reinigung ergänzt, um eine gründliche Entfernung von organischen Rückständen, Partikeln und Oberflächenverunreinigungen zu gewährleisten. Das Ziel ist die Entfernung von Partikeln mit einer Größe von >250 nm zur Unterstützung von i-Line-Lithografieanwendungen. Optionale Features: -Extreme Verformung und Durchbiegung im Bereich von 1500 bis 2500 µm -Verbesserte Entfernung von Partikeln und Rückständen durch direkten Oberflächenkontakt mithilfe eines vertikalen Rotationsbürstensystems -Bewegungsgesteuerter vertikaler Bürstenkopf -Chemisch beständiges Bürstenmaterial, geeignet für aggressive Medien -Verwendete Medien: DI-Wasser, SC1 (NH₄OH, H₂O₂), Piranha (H₂O₂ / H₂SO₄), nicht temperaturgesteuert -Durchfluss und Druck einstellbar und überwachbar: elektronische Anzeige mit programmierbaren Alarmgrenzen -Präzise geführte Bewegung für gleichmäßige Reinigungsleistung über die gesamte Substratoberfläche -Dosierarm: Programmierbare Bewegung (Steuerung von Start-/Endpunkt, -Scangeschwindigkeit, Drehzahl, Bürstenhöhe, Bürstendruck mit Kraftrückmeldung) -Programmierbare Bürsten-Selbstreinigungszyklen nach jedem Programm und während Inaktivitätsphasen (DI-Wasserspülung zur Verhinderung von Medienkristallisation) -Sicherheitsmerkmale: Programmierbare Alarmgrenzen mit Software-Verriegelung zur Prozesssteuerung -Lagerung von CO₂-Gasflaschen (2-6 kg, geeignet für die interne Chemikalienversorgung/Werkzeuglagerung) -Funktion: Kontrollierte CO₂-Injektion für -Leitfähigkeitsbereich: 5-15 µS, stabil bis ±20 % -Filtration: 0,003 µm CO₂-Gasfilter -Softwaregesteuerte Alarmgrenzen und Einstellungen -Bürstenunterstützte DI-Wasser-, SC1- oder Piranha-Reinigung auf der Vorderseite mit DI-Wasserreinigung auf Vorder- und Rückseite, N2-unterstütztes -Schleudertrocknen

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 4 jours

Ce que paie ce marché

L'acheteur a trop peu d'attributions dans ce secteur : voici la fourchette des 208 dernières attributions pour Machines électriques (Allemagne).

Montant median
375 007 €
Moitié centrale des attributions passées
219 860 € à 672 900 €

TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) ne publie aucun montant pour cet avis, il n'a donc pas de repère sur l'échelle. Les documents officiels peuvent l'indiquer.

Montants attribues tels que publies par les sources officielles. A titre indicatif : le perimetre, les lots et la duree varient d'un marche a l'autre.

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Allemagne

avis dans le registre
715
attributions
329
attribués au total
1,3 M €

Qui remporte ses marchés

Nombreux fournisseurs
entreprises différentes ont remporté ses attributions
229
des attributions sont allées aux trois titulaires les plus fréquents
6%
de ses appels d'offres indiquent une valeur estimée
0%

D'après 290 attributions avec un titulaire nommé sur les 3 dernières années. Compté par attribution et non par montant, car les montants des lots et des accords-cadres ne sont pas comparables. Concentré : les trois titulaires les plus fréquents ont obtenu 65% des attributions ou plus ; nombreux fournisseurs : moins de 35% avec au moins dix titulaires différents.

Concurrence

offres par lot en moyenne (procédures ouvertes et restreintes)
5,1
de ces lots ont reçu une seule offre
22%
des attributions sont allées à des entreprises établies dans un autre pays
16%

Tels que les avis d'attribution officiels les indiquent, sur les 3 dernières années. Les offres par lot ne comptent que les procédures ouvertes et restreintes : dans une procédure négociée ou une attribution directe, une seule offre est la procédure elle-même. Le pays est celui que l'avis donne pour le titulaire.

Cet acheteur n'a encore aucune attribution enregistrée dans ce secteur. Attributaires habituels, Machines électriques - Allemagne

Entreprise Attributions Montant total attribué Dernière attribution
Siemens Energy Global GmbH & Co. KG 13 22,6 M € juin 2026
Polyma Energiesysteme GmbH 12 3,4 M € oct. 2026
Siemens AG 6 sept. 2026
Siemens Mobility GmbH 5 juin 2026
AVS Aggregatebau GmbH 4 1,1 M € août 2026

Sur la base de 592 attributions avec un profil d'entreprise associé au cours des 2 dernières années.

165 marchés ouverts actuellement

Contexte de marché

TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) ne publie aucun montant pour cet avis, il ne peut donc pas être situé parmi les avis ouverts du secteur. Les documents officiels peuvent l'indiquer.

ouverts en ce moment, Machines électriques
3 661
avis ouvert médian
510 000 €

Qui remporte les marchés ici

Nombreux fournisseurs

Allemagne · Machines électriques

entreprises différentes ont remporté des attributions ici
476
des attributions sont allées aux trois titulaires les plus fréquents
5%
acheteurs ont attribué des marchés ici
303

D'après 592 attributions avec un titulaire nommé sur les 3 dernières années. Compté par attribution et non par montant, car les montants des lots et des accords-cadres ne sont pas comparables. Concentré : les trois titulaires les plus fréquents ont obtenu 65% des attributions ou plus ; nombreux fournisseurs : moins de 35% avec au moins dix titulaires différents.

Concurrence

offres par lot en moyenne (procédures ouvertes et restreintes)
3,3
de ces lots ont reçu une seule offre
34%
des attributions sont allées à des entreprises établies dans un autre pays
13%
des offres venaient d'un autre pays
10%

Tels que les avis d'attribution officiels les indiquent, sur les 3 dernières années. Les offres par lot ne comptent que les procédures ouvertes et restreintes : dans une procédure négociée ou une attribution directe, une seule offre est la procédure elle-même. Le pays est celui que l'avis donne pour le titulaire.

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