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Allemagne - Machines à usages général et spécial - Système MBE - Système d'épitaxie par jets moléculaires multi 150 mm - PR1208516-2050-W

Original Deutschland - Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke - MBE Anlage - Multi-150-mm-Molekularstrahlepitaxieanlage - PR1208516-2050-W

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Résumé

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La Fraunhofer-Gesellschaft, service des achats B12, a attribué un marché portant sur un système d'épitaxie par jets moléculaires multi 150 mm destiné à la croissance de couches semi-conductrices III-V antimoniures et arséniures. Le système doit pouvoir déposer simultanément des hétérostructures épitaxiales sur plusieurs plaquettes de 150 mm et être équipé de cellules d'aluminium rétractables permettant de faire fondre l'aluminium lors de la maintenance sous conditions UHV, afin d'obtenir des couches plus pures et à moindre densité de défauts. Le marché a été attribué à Veeco GmbH. Le prix attribué, le nombre d'offres, la durée du contrat et une date de retour au marché ne figurent pas dans cet avis.

Description

MBE Anlage - Multi-150-mm-Molekularstrahlepitaxieanlage Beschafft werden soll eine Multi 150mm- Molekularstrahlepitaxieanlage zum Wachstum von Antimonidischen und Arsenidischen III-V Halbleiterschichten. Durch die neue Anlage soll zum einen eine höhere Qualität der Schichten erreicht werden und Schichten mit höherer Reinheit und geringerer Defektdichte sollen hergestellt werden. Die Anlage muss in der Lage sein, mehrere 150mm Wafer simultan mit epitaktischen Heterostrukturen zu bedampfen. Die Anlage muss mit Rückziehbaren Aluminiumzellen ausgestatten sein, welche es erlauben das Aluminium während einer Wartung unter UHV Bedingungen eingeschmolzen zu lasdsen. Dies soll zukünftig die Reinheit der Schichten erhöhen.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 3 semaines

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