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Switzerland - Integrated UHV-Cluster for PLD and Sputter Deposition of Thin Films

Original Schweiz - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten

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ETH Zurich's Laboratory of Inorganic Chemistry is procuring an integrated Ultra-High Vacuum (UHV) cluster system for pulsed laser deposition (PLD) and sputter deposition of thin films. The equipment must include PLD and sputter chambers, a central transfer chamber, and a loadlock for exchanging samples without venting process chambers. It must achieve base pressures below 1x10-7 mbar. The PLD chamber requires a KrF excimer laser and in-situ high-pressure RHEED, operating up to 1100°C. The sputter chamber must support DC/RF magnetron sputtering up to 700°C.

Description

Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.

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Source: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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