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Svizzera - Cluster UHV integrato per deposizione laser pulsata e sputtering di film sottili

Originale Schweiz - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten

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  1. Pubblicata
  2. Scadenza aperta 40 giorni
  3. Aggiudicata in attesa

Sintesi

Sintesi generata automaticamente

Il Laboratorio di Chimica Inorganica dell'ETHZurich sta acquistando un sistema integrato cluster UHV (ultra-alto vuoto) per deposizione laser pulsata (PLD) e sputtering di film sottili. Il sistema deve includere camere PLD e sputtering, una camera di trasferimento centrale e una camera a vuoto per scambiare campioni senza ventilare. Tutte le camere devono raggiungere pressioni base inferiori a 1x10-7 mbar. La camera PLD richiede un laser eccimero KrF e RHEED per temperature fino a 1100°C. La camera di sputtering deve supportare sputtering DC/RF fino a 700°C.

Descrizione

Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 mese fa

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