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Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten

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Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die ETH Zürich, Laboratorium für Anorganische Chemie, über die Abteilung Procurement and Export Services, hat einen Vertrag für einen integrierten UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten vergeben. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten bis 10 x 10 mm2 ermöglichen und aus einer PLD-Kammer mit KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED, einer Sputterkammer mit DC- und RF-Magnetronsputtern, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer bestehen. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Der offizielle Datensatz weist den Status Vertrag vergeben aus; kein vergebener Preis und keine Anzahl Angebote sind auf der Seite angegeben.

Beschreibung

Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.

Amtliche Quelle

Quelle: simap.ch - Swiss public procurement platform

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit simap.ch - Swiss public procurement platform abgeglichen vor 3 Wochen

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