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Cluster UHV intégré pour dépôt par laser pulsé (PLD) et dépôt par pulvérisation de couches minces

Original Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten

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L'ETH Zurich, Laboratoire de chimie inorganique, via son service Procurement and Export Services, a attribué un marché pour un cluster UHV intégré destiné au dépôt par laser pulsé (PLD) et au dépôt par pulvérisation de couches minces. Le système doit permettre la synthèse de matériaux sur des substrats d'oxyde jusqu'à 10 x 10 mm2 et comprendre une chambre PLD avec laser excimer KrF et RHEED haute pression in-situ, une chambre de pulvérisation avec pulvérisation magnétron DC et RF, une chambre centrale de transfert UHV et une chambre sas. Toutes les chambres doivent atteindre des pressions de base inférieures à 1 x 10-7 mbar. Le dossier officiel indique le statut marché attribué; aucun prix attribué ni nombre d'offres n'est indiqué sur la page.

Description

Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.

Source officielle

Source : simap.ch - Swiss public procurement platform

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Dernière vérification auprès de simap.ch - Swiss public procurement platform il y a 3 semaines

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