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Cluster UHV integrato per deposizione laser pulsata (PLD) e deposizione per sputtering di film sottili

Originale Integrierter UHV-Cluster für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Dünnschichten

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L'ETH Zurigo, Laboratorio di chimica inorganica, tramite il proprio servizio Procurement and Export Services, ha affidato un contratto per un cluster UHV integrato destinato alla deposizione laser pulsata (PLD) e alla deposizione per sputtering di film sottili. Il sistema deve consentire la sintesi di materiali su substrati di ossido fino a 10 x 10 mm2 e comprendere una camera PLD con laser excimer KrF e RHEED ad alta pressione in-situ, una camera di sputtering con magnetron DC e RF, una camera centrale di trasferimento UHV e una camera airlock. Tutte le camere devono raggiungere pressioni di base inferiori a 1 x 10-7 mbar.

Descrizione

Das Laboratorium für Anorganische Chemie der ETH Zürich plant die Beschaffung eines integrierten UHV-Clusters für gepulste Laserdeposition (PLD) und Sputterdeposition von Heterostrukturen aus Oxid- und Metallschichten. Das System soll die Materialsynthese auf Oxidsubstraten mit einer Fläche von bis zu 10 x 10 mm2 ermöglichen. Es soll aus einer PLD-Kammer, einer Sputterkammer, einer zentralen UHV-Transferkammer und einer Schleusenkammer für den Austausch von Proben und PLD-Targets bestehen, ohne die Prozesskammern zu belüften. Alle Kammern müssen Basisdrücke unter 1 x 10-7 mbar aufweisen. Die PLD-Kammer muss mit einem KrF-Excimerlaser und in-situ Hochdruck-RHEED ausgestattet sein und für routinemässiges epitaktisches Oxidwachstum bei hohen Temperaturen um 1100 °C geeignet sein. Die Sputterkammer muss DC- und RF-Magnetronsputtern von Metall- und Oxidschichten ermöglichen, einschliesslich reaktivem Sputtern in Ar/O₂-Atmosphären, mit Substratheizung bis mindestens 700 °C unter Verwendung eines Probenträgersystems, das mit der PLD-Kammer kompatibel ist. Das System muss den Probentransfer zu einem externen UHV-Transferkoffer ermöglichen und UHV-kompatible Ports für die zukünftige Erweiterung des Clusters vorsehen. Für weitere Details siehe Spezifikationsdokument.

Fonte ufficiale

Fonte: simap.ch - Swiss public procurement platform

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Ultima verifica su simap.ch - Swiss public procurement platform 3 settimane fa

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