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Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte - Deposition Tool 8 Inch

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Deposition Tool 8 Inch

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Zusammenfassung

Maschinell erstellte Zusammenfassung

Die Technische Universität München, Lehrstuhl für Technische Physik E23/WMI, beschafft ein UHV-Clustersystem zur Herstellung supraleitender Schaltkreise auf 8-Zoll-Wafern. Das System muss UHV-Bedingungen bieten und eine HV-Load-Lock-Kammer, eine zentrale Handling-Kammer, Kammern für das Aufdampfen von Al-Dünnschichten, das Sputtern von Supraleitern, Oxidation und Ar-Ionen-Milling sowie eine Flipping-Station umfassen. Es muss die Metallisierung beider Waferseiten in situ mit minimaler Partikelkontamination auf der Rückseite ermöglichen, wobei die Wafer nur am Rand gegriffen werden. Weitere Details, geschätzter Wert, Frist und Biederbedingungen stehen in den Unterlagen.

Beschreibung

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping). siehe Leistungsbeschreibung.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 3 Wochen

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Vollständiges Auftraggeberprofil

Für diesen Auftraggeber sind in diesem Sektor noch keine Vergaben erfasst. Übliche Gewinner, Labor- & Präzisionsgeräte - Deutschland

Unternehmen Zuschläge Vergebenes Volumen Letzter Zuschlag
Thermo Fisher Scientific GmbH 38 €8,7M Sep 2026
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH 22 €5,7M Sep 2026
KEYENCE Deutschland GmbH 22 769.435 € Sep 2026
Agilent Technologies Deutschland GmbH 14 €2,0M Sep 2026
Bruker Daltonics GmbH & Co. KG 10 €3,6M Sep 2026

Grundlage: 895 Vergaben mit verknüpftem Unternehmensprofil aus den letzten 2 Jahren.

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