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Germania - Apparecchiature di laboratorio, ottiche e di precisione - Deposition Tool 8 Inch

Originale Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Deposition Tool 8 Inch

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Sintesi

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L'Università Tecnica di Monaco, Cattedra di Fisica Tecnica E23/WMI, acquisterà un sistema cluster UHV per la fabbricazione di circuiti superconduttivi su wafer da 8 pollici. Il sistema deve garantire condizioni UHV e comprendere una camera di carico HV, una camera centrale di movimentazione, camere UHV per l'evaporazione di film sottili di Al, per lo sputtering di superconduttori, per l'ossidazione e per il milling con ioni Ar, oltre a una stazione di ribaltamento. Deve permettere la metallizzazione di entrambe le facce del wafer in situ con minima contaminazione da particelle sul retro, afferrando i wafer solo dal bordo. Dettagli, valore stimato e scadenze sono indicati nei documenti di gara.

Descrizione

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping). siehe Leistungsbeschreibung.

Fonte ufficiale

Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.

Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 3 settimane fa

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Profilo completo del committente

Questo committente non ha ancora aggiudicazioni registrate in questo settore. Aggiudicatari abituali, Apparecchiature di laboratorio e di precisione - Germania

Impresa Aggiudicazioni Importo totale aggiudicato Ultima aggiudicazione
Thermo Fisher Scientific GmbH 38 €8,7M set 2026
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH 22 €5,7M set 2026
KEYENCE Deutschland GmbH 22 769.435 € set 2026
Agilent Technologies Deutschland GmbH 14 €2,0M set 2026
Bruker Daltonics GmbH & Co. KG 10 €3,6M set 2026

Sulla base di 891 aggiudicazioni con profilo aziendale collegato negli ultimi 2 anni.

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Contesto di mercato

Gara aperta media · Apparecchiature di laboratorio e di precisione
5.515.565 €
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