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Alemania - Equipo de laboratorio, óptico y de precisión - Deposition Tool 8 Inch

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Deposition Tool 8 Inch

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La Universidad Técnica de Múnich, Cátedra de Física Técnica E23/WMI, adquirirá un sistema de cluster UHV para fabricar circuitos superconductores en obleas de 8 pulgadas. El sistema debe ofrecer condiciones UHV e incluir una cámara de carga HV, una cámara central de manipulación, cámaras UHV para evaporación de películas delgadas de Al, sputtering de superconductores, oxidación y molienda con iones de Ar, además de una estación de volteo. Debe permitir metalizar ambas caras de la oblea in situ con contaminación mínima de partículas en la parte trasera, manipulando las obleas solo por el borde. Los detalles, el valor estimado y los plazos figuran en los documentos del expediente.

Descripción

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping). siehe Leistungsbeschreibung.

Fuente oficial

Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

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Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 3 semanas

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Este comprador aún no tiene adjudicaciones registradas en este sector. Adjudicatarios habituales, Equipos de laboratorio y precisión - Alemania

Empresa Adjudicaciones Importe total adjudicado Última adjudicación
Thermo Fisher Scientific GmbH 38 €8,7M sep. 2026
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH 22 €5,7M sep. 2026
KEYENCE Deutschland GmbH 22 769.435 € sep. 2026
Agilent Technologies Deutschland GmbH 14 €2,0M sep. 2026
Bruker Daltonics GmbH & Co. KG 10 €3,6M sep. 2026

A partir de 891 adjudicaciones con perfil de empresa vinculado en los últimos 2 años.

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Contexto de mercado

Licitación abierta media · Equipos de laboratorio y precisión
5.502.828 €
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