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Allemagne - Équipements de laboratoire, optiques et de précision - Deposition Tool 8 Inch

Original Deutschland - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - Deposition Tool 8 Inch

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Résumé

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L'Université technique de Munich, chaire de physique technique E23/WMI, acquiert un système cluster UHV pour la fabrication de circuits supraconducteurs sur des wafers de 8 pouces. Le système doit offrir des conditions UHV et comprendre une chambre de transfert HV, une chambre centrale de manipulation, des chambres UHV pour l'évaporation de couches minces d'Al, la pulvérisation de supraconducteurs, l'oxydation, le fraisage par ions Ar, ainsi qu'une station de retournement. Il doit permettre de métalliser les deux faces du wafer in situ avec une contamination particulaire minimale au dos, les wafers étant saisis uniquement par le bord. Les détails, la valeur estimée et les délais figurent dans les documents du marché.

Description

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping). siehe Leistungsbeschreibung.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 3 semaines

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Cet acheteur n'a encore aucune attribution enregistrée dans ce secteur. Attributaires habituels, Équipements de laboratoire & de précision - Allemagne

Entreprise Attributions Montant total attribué Dernière attribution
Thermo Fisher Scientific GmbH 38 €8,7M sept. 2026
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH 22 €5,7M sept. 2026
KEYENCE Deutschland GmbH 22 769 435 € sept. 2026
Agilent Technologies Deutschland GmbH 14 €2,0M sept. 2026
Bruker Daltonics GmbH & Co. KG 10 €3,6M sept. 2026

Sur la base de 891 attributions avec un profil d'entreprise associé au cours des 2 dernières années.

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Contexte de marché

Appel ouvert moyen · Équipements de laboratoire & de précision
5 515 565 €
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