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België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - PVD toestel voor MRAM

Vergeben Vergabebekanntmachung

Eckdaten

Zuschlagsempfänger
Tokyo Electron Europe Limited
Auftraggeber
Imec EU Pilot line NV
Ort
Belgien Prov. Vlaams-Brabant
Verfahren
Verhandlungsverfahren Der Auftraggeber wählt Bewerber aus und verhandelt dann über die Angebote, bevor er entscheidet. Ganzer Eintrag Oberhalb des EU-Schwellenwerts Ein Auftrag, der groß genug ist, dass EU-weite Regeln gelten und er auf TED erscheinen muss. Ganzer Eintrag
CPV-Code Das EU-weite Vokabular für den Beschaffungsgegenstand: ein achtstelliger Code in jeder Bekanntmachung. Ganzer Eintrag
38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Originalsprache
Niederländisch
Quelle
über TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), geprüft vor 1 Monat
Bekanntmachungsnummer
166388-2026
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  1. Veröffentlicht
  2. Vergeben ausstehend

Beschreibung

de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.

Amtliche Quelle

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.

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Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat

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