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België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - PVD toestel voor MRAM

Attribué Avis d'attribution

Informations clés

Attributaire
Tokyo Electron Europe Limited
Acheteur public
Imec EU Pilot line NV
Lieu
Belgique Prov. Vlaams-Brabant
Procédure
Procédure négociée L'acheteur sélectionne des candidats, puis négocie les offres avant de choisir. Entrée complète Au-dessus du seuil européen Un marché assez important pour que les règles européennes s'appliquent et qu'il paraisse sur TED. Entrée complète
Code CPV Le vocabulaire commun de l'UE pour ce qui est acheté : un code à huit chiffres présent dans chaque avis. Entrée complète
38000000 Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)
Langue d'origine
Néerlandais
Source
via TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU), vérifié il y a 1 mois
Numéro de l'avis
166388-2026
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  1. Publié
  2. Attribué en attente

Description

de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

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Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 1 mois

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