Opis
de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund: 1. Multi-kathode PVD-kamer 2. Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen 3. Ontgassing/annealing mogelijkheden 4. Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules. Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.
Oficjalne źródło
Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.
Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 miesiąc temu
Więcej od tego zamawiającego
Pełny profil zamawiającego21 otwartych przetargów w tej chwili
- Przyrządy laboratoryjne, optyczne i precyzyjne (z wyjątkiem okularów) - Piec do utwardzania próżniowego Nie opublikowano terminu
- Kompatybilny z waflami system mikroskopu elektronowego skaningowego z plazmową wiązką jonów skupionych (PFIB-SEM) Nie opublikowano terminu
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Vacuum Cure Oven Nie opublikowano terminu
Ostatnie udzielenia
- België - Bouwwerkzaamheden - Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichting van een cleanroom
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - FEOL ETCH CLUSTER
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Dry Etch Isotropisch Etch Platform
Podobne przetargi
Kontekst rynkowy
- Śr. otwarty przetarg · Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny
- 5 450 366 €
- Historia zamawiającego w Aperlena
- 40 zarejestrowanych ogłoszeń · 18 udzielonych
Nie przegap przetargów takich jak ten
16 nowych ogłoszeń w ostatnich 7 dniach: Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny, Belgia. Otrzymuj e-mail, gdy pojawią się nowe ogłoszenia. Za darmo.
Ustaw mój alert