Beschreibung
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Amtliche Quelle
Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Prüfen Sie alle Angaben stets in der amtlichen Bekanntmachung.
Zuletzt mit TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) abgeglichen vor 1 Monat
Mehr von diesem Auftraggeber
Vollständiges Auftraggeberprofil20 offene Ausschreibungen derzeit
- Laborinstrumente, optische und Präzisionsinstrumente (ausgenommen Brillen) - Vakuumhärtungsofen Keine Frist veröffentlicht
- Waferkompatibles Plasma-Focused-Ion-Beam-Rasterelektronenmikroskop (PFIB-SEM) System Keine Frist veröffentlicht
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Vacuum Cure Oven Keine Frist veröffentlicht
Jüngste Vergaben
- België - Bouwwerkzaamheden - Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichting van een cleanroom
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Dry Etch Isotropisch Etch Platform
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Bevel Treatment Platform
Ähnliche Ausschreibungen
Marktkontext
- Ø offene Ausschreibung · Labor- & Präzisionsgeräte
- 5.537.866 €
- Vergabehistorie auf Aperlena
- 39 erfasste Bekanntmachungen · 18 vergeben
Verpassen Sie keine Ausschreibung wie diese
14 neue Bekanntmachungen für Labor- & Präzisionsgeräte in Belgien in den letzten 7 Tagen. Erhalten Sie eine E-Mail, wenn neue erscheinen. Kostenlos.
Benachrichtigung einrichten