Descrizione
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Fonte ufficiale
Fonte: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Verifica sempre i dettagli nell'avviso ufficiale.
Ultima verifica su TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 mese fa
Altro da questo committente
Profilo completo del committente20 gare aperte in questo momento
- Strumenti da laboratorio, strumenti ottici e di precisione (esclusi occhiali) - Forno di polimerizzazione sottovuoto Nessuna scadenza pubblicata
- Sistema a microscopio elettronico a scansione con fascio di ioni focalizzati al plasma compatibile con wafer (PFIB-SEM) Nessuna scadenza pubblicata
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Vacuum Cure Oven Nessuna scadenza pubblicata
Aggiudicazioni recenti
- België - Bouwwerkzaamheden - Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichting van een cleanroom
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Dry Etch Isotropisch Etch Platform
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Bevel Treatment Platform
Gare simili
Contesto di mercato
- Gara aperta media · Apparecchiature di laboratorio e di precisione
- 5.537.866 €
- Storico della stazione appaltante su Aperlena
- 39 avvisi tracciati · 18 aggiudicati
Non perderti nessuna gara come questa
14 nuovi avvisi per Apparecchiature di laboratorio e di precisione in Belgio negli ultimi 7 giorni. Ricevi un'email quando escono nuovi avvisi. Gratis.
Crea il mio avviso