Descripción
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Fuente oficial
Fuente: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Verifica siempre los detalles en el anuncio oficial.
Última verificación con TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) hace 1 mes
Más de este comprador
Perfil completo del comprador20 licitaciones abiertas ahora mismo
- Instrumentos de laboratorio, instrumentos ópticos y de precisión (excepto gafas) - Horno de curado al vacío Sin fecha límite publicada
- Sistema de microscopio electrónico de barrido con haz de iones enfocado por plasma compatible con obleas (PFIB-SEM) Sin fecha límite publicada
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Vacuum Cure Oven Sin fecha límite publicada
Adjudicaciones recientes
- België - Bouwwerkzaamheden - Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichting van een cleanroom
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Dry Etch Isotropisch Etch Platform
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Bevel Treatment Platform
Licitaciones similares
Contexto de mercado
- Licitación abierta media · Equipos de laboratorio y precisión
- 5.544.199 €
- Historial del comprador en Aperlena
- 39 anuncios registrados · 18 adjudicados
No te pierdas ninguna licitación como esta
14 anuncios nuevos de Equipos de laboratorio y precisión en Bélgica en los últimos 7 días. Recibe un email cuando aparezcan anuncios nuevos. Gratis.
Crear mi alerta