Opis
300mm Dry Etch Platform bestaande uit een Process Module zoals hieronder omschreven: i. Conductor Dry Ether met ICP (Inductively Coupled Plasma) RF Source Power en Dual Bottom Bias capability (RF Bias + DC Pulse Bias aan 400kHz) ii. Deze Process Module moet het vermogen hebben om RF Bias en DC Bias te superponeren. Deze Process Module is bedoeld voor verschillende FEOL-toepassingen voor N2 technologie node en verder, in het bijzonder CFET (Complementary Field Effect Transistor) toepassingen inclusief maar niet beperkt tot CFET Nanosheet Etch, CFET Full Gate Etch en CFET Source/Drain Recess. Er moeten minimaal 6 procesmoduleslots beschikbaar zijn op het platform voor een mogelijke capaciteits- en functionaliteitsupgrade. Het platform moet minimaal 5 laadpoorten bevatten.
Oficjalne źródło
Źródło: TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)
Zawsze weryfikuj szczegóły w oficjalnym ogłoszeniu.
Ostatnia weryfikacja w TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) 1 miesiąc temu
Więcej od tego zamawiającego
Pełny profil zamawiającego20 otwartych przetargów w tej chwili
- Przyrządy laboratoryjne, optyczne i precyzyjne (z wyjątkiem okularów) - Piec do utwardzania próżniowego Nie opublikowano terminu
- Kompatybilny z waflami system mikroskopu elektronowego skaningowego z plazmową wiązką jonów skupionych (PFIB-SEM) Nie opublikowano terminu
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Vacuum Cure Oven Nie opublikowano terminu
Ostatnie udzielenia
- België - Bouwwerkzaamheden - Raamovereenkomst voor ontwerp, bouw en inrichting van een cleanroom
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Dry Etch Isotropisch Etch Platform
- België - Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) - Bevel Treatment Platform
Podobne przetargi
Kontekst rynkowy
- Śr. otwarty przetarg · Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny
- 5 544 199 €
- Historia zamawiającego w Aperlena
- 39 zarejestrowanych ogłoszeń · 18 udzielonych
Nie przegap przetargów takich jak ten
14 nowych ogłoszeń w ostatnich 7 dniach: Sprzęt laboratoryjny i precyzyjny, Belgia. Otrzymuj e-mail, gdy pojawią się nowe ogłoszenia. Za darmo.
Ustaw mój alert