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Finlande - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (sauf lunettes) - Métrologie des wafers

Original Finland - Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) - Wafer metrology

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VTT Technical Research Centre of Finland Ltd a acquis un outil de métrologie de wafer semi-automatique pour mesurer l'épaisseur totale, la variation d'épaisseur totale, le gauchissement, la flèche, les bosses de métallisation, la profondeur des tranchées ou des vias et des facteurs géométriques sur des substrats tels que des wafers de silicium, des puces, des wafers empilés, des puces empilées, des échantillons contenant des oxydes mixtes et des matériaux minces déposés. L'outil devait pouvoir être installé dans une salle blanche classée ISO 4. Le contrat a été attribué à FRT GmbH pour 464 674 EUR.

Description

The object of the tender was semi-automatic wafer metrology tool (later also “tool”) for measurement of total thickness, TTV (total thickness variation), warp, bow, metallization bumps, trench or via depth and geometric factors in substrates typical in semiconductor industry such as but not limited to silicon wafers, chips, stacked wafers, stacked chips, samples containing mixed oxides, or/and thin materials deposited. The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.

Source officielle

Source : TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU)

Vérifiez toujours les détails dans l'avis officiel.

Dernière vérification auprès de TED - Tenders Electronic Daily (Publications Office of the EU) il y a 2 semaines

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